Вакуумні компоненти

Термічна обробка в основному включає процеси окислення, дифузії та відпалу.Окислення — це адитивний процес, у якому кремнієві пластини поміщають у високотемпературну піч і додають кисень, щоб реагувати з ними з утворенням кремнезему на поверхні пластини.Дифузія полягає в переміщенні речовин із зони високої концентрації в область низької концентрації за допомогою молекулярного теплового руху, і процес дифузії можна використовувати для легування спеціальних легуючих речовин у кремнієву підкладку, таким чином змінюючи провідність напівпровідників.